中 晟 光 电 关 于 中 晟 企 业 简 介 企 业 愿 景 企 业 文 化 发 展 历 程 荣 誉 资 质 管 理 团 队 社 会 责 任 联 系 我 们 产 品 系 列 P r o M a x y ® P D C P r o M a x y ® P D C M O C V D P r o M a x y ® P D M O C V D P r o M a x y ® P S C P r o M a x y ® P E P r o M a x y ® U V P r o M a x y ® U V M O C V D P r o M a x y ® I U 2 0 M O C V D 投 资 者 关 系 前 1 0 大 股 东 公 司 治 理 投 资 者 联 系 行 业 前 沿 企 业 新 闻 行 业 资 讯 招 贤 纳 士 人 才 发 展 中 晟 风 采 薪 资 福 利 加 入 中 晟 联 系 我 们 中 文 E N 导 航 关 于 中 晟 企 业 简 介 企 业 愿 景 企 业 文 化 发 展 历 程 荣 誉 资 质 管 理 团 队 社 会 责 任 联 系 我 们 产 品 系 列 P r o M a x y ® P D C P r o M a x y ® P S C P r o M a x y ® P E P r o M a x y ® U V 投 资 者 关 系 前 1 0 大 股 东 公 司 治 理 投 资 者 联 系 行 业 前 沿 企 业 新 闻 行 业 资 讯 招 贤 纳 士 人 才 发 展 中 晟 风 采 薪 资 福 利 加 入 中 晟 支 撑 中 国 化 合 物 半 导 体 产 业 高 质 量 发 展 S u p p o r t t h e h i g h q u a l i t y d e v e l o p m e n t o f C h i n a ’ s c o m p o u n d s e m i c o n d u c t o r i n d u s t r y 成 为 构 建 数 字 、 绿 色 、 智 能 世 界 的 坚 强 基 石 B e c o m e a s t r o n g c o r n e r s t o n e f o r b u i l d i n g a d i g i t a l , g r e e n a n d i n t e l l i g e n t w o r l d . 产 品 线 概 况 四 类 产 品 支 撑 化 合 物 半 导 体 产 业 高 质 量 发 展 P r o M a x y ® P D C M O C V D 应 用 于 G a N 电 力 电 子 功 率 / 射 频 / u L E D 领 域 反 应 腔 最 高 温 度 1 3 5 0 ℃ ， 片 内 温 度 均 匀 ≤ ± 1 ℃ ， 可 有 效 避 免 产 生 衬 底 滑 移 线 A l N 生 长 速 率 可 达 1 u m / h 以 上 ， G a N 生 长 速 率 可 达 6 u m / h 以 上 ， 设 备 高 产 出 A l G a N 铝 组 分 均 匀 性 s t d 外 延 材 料 一 致 性 好 ， X R D 摇 摆 曲 线 全 峰 半 宽 s t d M g 掺 杂 片 内 一 致 性 ( m a x m i n ) / a v g ® P D C M O C V D > P r o M a x y ® P S C M O C V D 应 用 于 S i C 功 率 器 件 温 度 至 1 6 5 0 C ± 1 ℃ ， 升 降 温 时 间 生 长 速 率 > 6 0 u m / h , 厚 度 范 围 0 . 5 u n ~ 1 0 0 u m , 均 匀 性 达 3 % ( m a x m i n ) / 2 m e a n 掺 杂 范 围 1 E 1 5 c m 3 ~ 5 E 1 8 c m 3 , 均 匀 性 达 3 % ( m a x m i n ) / 2 m e a n 维 护 周 期 > 5 4 0 0 u m ® P S C M O C V D > P r o M a x y ® P E M O C V D 应 用 于 G a A s & I n P 光 电 通 讯 、 太 阳 能 ， 激 光 ， L E D 等 领 域 A l A s / A l G a A s D B R u n i f o r m i t y σ / X ≤ 0 . 2 % S h e e t r e s i s t a n c e u n i f o r m i t y σ / X ≤ 5 % I n G a A s P b u l k W a v e l e n g t h u n i f o r m i t y （ @ 1 3 0 0 n m ） σ ≤ 3 n m ® P E M O C V D > P r o M a x y ® U V M O C V D 深 紫 外 高 温 / 高 铝 器 件 / 化 合 物 半 导 体 材 料 生 长 与 基 础 研 究 反 应 腔 温 度 1 3 5 0 ℃ ， 温 度 均 匀 及 稳 定 性 ≤ ± 1 ℃ 。 生 长 速 率 可 达 到 A I N ≥ 1 . 2 u m / h ， A I G a N ≥ 2 . 5 u m / h , 并 具 有 良 好 的 晶 体 质 量 。 A l G a N 中 的 A l 的 组 份 比 例 可 达 0 1 0 0 % ， 浓 度 分 布 偏 差 ≤ 0 . 2 5 % 。 ® U V M O C V D > ® P D C M O C V D > ® P S C M O C V D > ® P E M O C V D > ® U V M O C V D > 行 业 前 沿 第 五 届 第 三 代 半 导 体 材 料 及 装 备 发 展 研 讨 会 在 青 岛 世 博 城 国 际 会 议 中 心 成 功 举 办 2 0 2 3 0 9 0 7 P r o M a x y ® 1 6 8 M O C V D 设 备 获 评 《 创 新 技 术 推 荐 奖 》 > 中 晟 光 电 P r o M a x y ® 1 6 8 M O C V D 设 备 获 评 《 创 新 技 术 推 荐 奖 》 2 0 1 7 0 4 0 5 中 晟 光 电 入 选 上 海 市 “ 专 精 特 新 ” 企 业 名 单 2 0 1 7 0 1 1 9 1 5 5 0 0 占 地 / 平 方 7 0 0 0 洁 净 车 间 / 平 方 1 2 0 产 能 台 / 年 4 0 + 专 利 关 于 中 晟 企 业 简 介 企 业 愿 景 企 业 文 化 发 展 历 程 荣 誉 资 质 管 理 团 队 社 会 责 任 联 系 我 们 产 品 系 列 P r o M a x y ® P D C P r o M a x y ® P S C P r o M a x y ® P E P r o M a x y ® U V 投 资 者 关 系 前 1 0 大 股 东 公 司 治 理 投 资 者 联 系 行 业 前 沿 企 业 新 闻 行 业 资 讯 招 贤 纳 士 人 才 发 展 中 晟 风 采 薪 资 福 利 加 入 中 晟 C o p y r i g h t © 2 0 2 3 中 晟 光 电 设 备 （ 上 海 ） 股 份 有 限 公 司 沪 I C P 备 1 4 0 3 9 8 5 1 号 1

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