半 导 体 前 道 检 测 半 导 体 量 检 8 寸 1 2 寸 晶 圆 检 测 膜 厚 测 量 仪 晶 圆 元 素 浓 度 测 量 盖 泽 华 矽 半 导 体 科 技 （ 上 海 ） 有 限 公 司 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 企 业 文 化 产 品 展 示 外 延 检 测 元 素 浓 度 新 闻 中 心 公 司 新 闻 行 业 新 闻 服 务 支 持 联 系 我 们 横 幅 加 载 中 您 的 浏 览 器 不 支 持 H T M L 5 v i d e o 标 签 半 导 体 晶 圆 剖 析 设 备 — — G S M 0 8 X 设 备 由 定 制 开 发 的 光 路 系 统 、 自 动 化 晶 圆 检 测 机 台 以 及 半 导 体 专 业 分 析 软 件 组 成 。 采 用 原 装 进 口 的 R o b o t 和 A l i g n e r , L o a d P o r t . 控 制 软 件 以 及 光 路 系 统 由 我 司 自 主 设 计 研 发 。 该 设 备 占 地 面 积 小 , 采 用 多 轴 机 械 手 , 通 过 复 合 运 动 实 现 取 放 料 和 检 测 定 位 , 极 大 的 提 高 了 检 测 效 率 , 同 时 又 降 低 了 产 品 维 护 成 本 。 内 部 全 新 设 计 的 气 体 导 流 结 构 , 保 证 晶 圆 传 输 过 程 的 洁 净 度 。 多 重 互 锁 保 护 , 从 软 件 到 硬 件 ， 多 重 保 证 晶 圆 传 输 过 程 中 的 安 全 以 及 人 员 与 设 备 的 安 全 。 M O R E 半 导 体 晶 圆 剖 析 设 备 — — G S A 1 2 X E F E M 是 个 晶 圆 前 端 传 输 设 备 , 是 一 个 与 S E M I 标 准 兼 容 的 界 面 系 统 ， 可 以 手 动 或 者 配 合 M R 或 O H T 的 承 载 水 平 传 输 晶 圆 。 该 系 统 提 供 单 线 接 口 供 工 厂 控 制 , 充 裕 的 传 输 间 距 与 工 厂 交 互 和 简 单 的 方 式 供 人 工 服 务 。 占 地 面 积 小 , 采 用 带 外 部 轴 的 双 臂 机 械 手 , 通 过 双 轴 复 合 运 动 实 现 取 放 片 , 极 大 的 提 高 了 传 片 效 率 的 同 时 而 又 降 低 了 产 品 维 护 成 本 。 内 部 全 新 的 气 体 导 流 结 构 , 保 证 内 部 空 间 洁 净 度 能 够 满 足 I S O C l a s s 1 级 别 , 保 证 晶 圆 传 输 过 程 的 洁 净 度 。 内 部 带 有 多 重 互 锁 保 护 , 从 软 件 到 硬 件 , 多 重 保 证 晶 圆 传 输 过 程 中 的 安 全 , 人 员 与 设 备 的 安 全 。 M O R E B U S I N E S S A R E A 商 业 领 域 显 示 半 导 体 新 能 源 盖 泽 华 矽 半 导 体 科 技 （ 上 海 ） 有 限 公 司 盖 泽 华 矽 半 导 体 科 技 （ 上 海 ） 有 限 公 司 ， 结 合 高 技 术 团 队 力 量 ， 以 光 学 领 域 的 技 术 开 发 及 应 用 为 核 心 ， 为 半 导 体 晶 圆 前 道 量 检 应 用 场 景 提 供 了 一 系 列 可 以 替 换 进 口 的 国 产 化 解 决 方 案 ， 公 司 业 务 覆 盖 半 导 体 、 光 伏 、 显 示 等 多 个 领 域 ， 并 在 多 地 设 有 专 业 检 测 实 验 室 及 半 导 体 设 备 生 产 组 装 车 间 。 公 司 秉 承 智 创 ” 赋 能 锻 造 科 技 “ 硬 核 ” 力 量 的 理 念 ， 旨 在 成 为 国 内 优 质 的 高 端 半 导 体 装 备 制 造 民 族 企 业 。 了 解 更 多 N E W S C E N T E R 新 闻 中 心 我 是 标 题 加 载 中 盖 泽 半 导 体 携 前 沿 设 备 及 部 件 亮 相 S e m i c o n S o u t h e a s t A s i a 2 0 2 4 展 会 盖 泽 半 导 体 携 前 沿 设 备 及 部 件 亮 相 S e m i c o n . . . 邀 请 函 丨 盖 泽 半 导 体 诚 邀 莅 临 S E M I C O N S o u t h e a s t A s i a 2 0 2 4 半 导 体 展 会 邀 请 函 丨 盖 泽 半 导 体 诚 邀 莅 临 S E M I C O N S o . . . 新 时 代 · 创 造 芯 未 来 丨 盖 泽 半 导 体 亮 相 2 0 2 4 G S I E 第 六 届 全 球 半 导 体 产 业 重 庆 博 览 会 新 时 代 · 创 造 芯 未 来 丨 盖 泽 半 导 体 亮 相 2 0 2 4 G S . . . 邀 请 函 丨 盖 泽 半 导 体 诚 邀 莅 临 2 0 2 4 G S I E 全 球 半 导 体 产 业 重 庆 博 览 会 邀 请 函 丨 盖 泽 半 导 体 诚 邀 莅 临 2 0 2 4 G S I E 全 球 . . . L e a r n m o r e + 联 系 我 们 C O N T A C T 盖 泽 华 矽 半 导 体 科 技 （ 上 海 ） 有 限 公 司 4 0 0 0 2 6 0 8 8 0 s a l e s @ g a z e r . c n 上 海 市 普 陀 区 武 宁 路 4 2 3 号 中 电 科 五 十 所 1 8 号 楼 盖 泽 华 矽 半 导 体 科 技 （ 苏 州 ） 有 限 公 司 4 0 0 0 2 6 0 8 8 0 s a l e s @ g a z e r . c n 苏 州 市 高 新 区 泰 山 路 1 2 8 号 6 楼 C o p y r i g h t @ 2 0 2 2 盖 泽 华 矽 半 导 体 科 技 （ 上 海 ） 有 限 公 司 . A l l R i g h t s R e s e r v e d 站 点 地 图 服 务 热 线 4 0 0 0 2 6 0 8 8 0 F T I R 膜 厚 测 量 仪 G S A 1 2 X 晶 圆 剖 析 设 备 产 品 展 示 新 闻 中 心 关 于 我 们 公 司 新 闻 行 业 新 闻 关 注 我 们 ： 公 司 简 介 企 业 文 化 服 务 支 持 联 系 我 们 |   网 站 备 案 ： 沪 I C P 备 2 0 2 2 0 3 4 5 3 9 号 1 半 导 体 前 道 检 测 半 导 体 量 检 8 寸 1 2 寸 晶 圆 检 测 膜 厚 测 量 仪 晶 圆 元 素 浓 度 测 量 盖 泽 华 矽 半 导 体 科 技 （ 上 海 ） 有 限 公 司

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